Elektroi-sorta lurruntzeko metodoa hutsean lurruntzeko estaldura moduko bat da, elektroi-izpiak erabiltzen dituena lurrunketa-materiala huts-baldintzetan zuzenean berotzeko, lurruntze-materiala lurruntzeko eta substratura garraiatzeko eta substratuan kondentsatzeko film mehe bat osatzeko. Elektroi-sorta berotzeko gailuan, berotutako substantzia ur-hoztutako arragoa batean jartzen da, eta horrek lurruntze-materialaren eta arragoaren hormaren arteko erreakzioa saihestu dezake eta filmaren kalitatea eragin dezake. Gailuan arrago anitz jar daitezke hainbat substantzien aldi berean edo bereizitako lurrunketa eta deposizioa lortzeko. Elektroi-izpiaren lurrunketarekin, edozein material lurrundu daiteke.
Elektroi-izpiaren lurrunketak fusio-puntu handiko materialak lurrun ditzake. Erresistentzia orokorra berotzeko lurrunketarekin alderatuta, eraginkortasun termiko handiagoa, habe-korronte dentsitate handiagoa eta lurruntze-abiadura azkarragoa ditu. Hainbat material optikoen filma eta filma, hala nola beira eroalea.
Elektroi-izpiaren lurrunketaren ezaugarria da ez dituela helburuko hiru dimentsioko egituraren bi aldeak estaliko edo gutxitan estaliko dituela, eta normalean helburuko gainazalean soilik metatzen da. Hau da elektroien izpien lurrunketaren eta sputteringaren arteko aldea.
Elektroi-izpiaren lurrunketa erdieroaleen ikerketan eta industrian erabili ohi da. Elektroiaren energia azeleratua helburu materiala jotzeko erabiltzen da, xede materiala lurrundu eta igotzen delarik. Azkenean xedean metatu zen.
Argitalpenaren ordua: 2022-02-02